アイスモス・テクノロジーはお客様のウエハーに広域の追加プロセスサービスを行っております。
アイスモスはBSOI(Boned SOI)やCSOI(Cavity SOI)ウエハーに高解像度のSAM(Scanning Acoustic Microscope)画像を提供しておりますが、お客様の貼り付けウエハーに関してもSAM検査サービスを提供いたします。
SAM検査は、非破壊で貼り付けられた界面の画像を確認することができます。
一般的な非破壊検査の方法として知られる超音波テストや赤外線顕微鏡、X線顕微鏡と比べ、SAMは検体の界面からの超音波を反映して特別な変換機で変換した画素イメージとして検出します。
アイスモスのSAM検査は横幅10um・高さ15nmの剥離構造を検出限界として100-200mmのウエハー直径の全体像を20umのピクセルサイズにて提供します。
特定箇所においてはより高解像度にてスキャンすることもできます。
アイスモス・テクノロジーはエンジニアリングの専門知識を駆使してプロセスフローの開発CAD(Computer Aided Design)レイアウトを使ってマスクセットや断面構造設計をいたします。
標準的なアイスモスのユニットプロセスファンドり―サービスは、他にない卓越したサービスです。
自動車業界のIATF16949の品質マネジメントシステムを適用した環境で、統計的プロセスコントロール(SPC)のタイトな公差によるコントロールや高度なCMOSが要求する汚染基準など、お客様のご要求にお応えします。
素早いサービスとオンタイムデリバリーでサポートいたします。